半导体净化工程-洁净车间技术解决方案

半导体净化工程-洁净车间技术解决方案

管理办法

1.半导体洁净无尘车间内部要确保粉尘只出不进，因此洁净无尘车间室内要保持大于大气压的环境。这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源不绝地打入洁净车间中。

2.为保持恒温与恒湿，大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久，空调就得开多久。

3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主，因此，洁净无尘车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀，使尘埃细菌等在洁净无尘车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。

4.所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。

5.所有人或事物进出洁净无尘车间，人必须穿配套防尘服，人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。

6.半导体洁净无尘车间内水的使用只限用去离子水。一则防止水中粉粒污染晶圆，二则防止水中重金属离子（如钾、钠离子）污染金氧半晶体管结构之带电载子信道，影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂，在半导体工业之使用量极为惊人！

7.半导体洁净无尘车间所有用得到的气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气 (98%)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。

线路板净化工程-洁净无尘车间技术解决方案 

LED/液晶/线路板制造是一种高度精密化的工业，一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量，因此制造过程均要求在严格控制下的无尘室中操作。无尘室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在，并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。

LED/液晶/线路板芯片制备到器件封装，对生产环境空气品质都有较高的要求，空气品质关系着成品率和产品品质；在众多的工艺环节中，哪个工艺过程是防止污染的关键？洁净度已经达标，为什么产品上仍有污染？相同的工艺和环境参数，为什么我们的能耗比别人高？怎样的洁净室规划设计方案是最节能的、最符合工艺要求的，投资省、运行费用低、生产效率高？

通过对LED/液晶/线路板客户生产环境的深入研究和工程经验积累，我们清楚了解其生产过程环境控制的关键；节能是我们系统方案优先考虑的重点；我们最擅长的就是给予客户符合其工艺要求和管理模式、同时应用了最新节能技术的环境解决方案；我们可以提供从无尘室整厂规划设计——人流物流净化方案、洁净空调系统、洁净装饰系统；整厂节能改造、水电、超纯气体管道、无尘室监测、维护系统等全面安装配套服务；所有产品和服务符合Fed 209D, ISO14644, IEST, EN1822等国际标准。  

为了达到洁净无尘室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作安全等，在洁净无尘室的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统（含特种气体供应等）及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。 

在上述众多的施工安装工程中，除了工期紧迫、交叉施工多、工序组织难度高外，更要遵循洁净室内的建造管理原则，因此，除非由具有丰富经验的专业管理团队来担任此艰巨任务，否则是难以圆满完成的。

作为置放生产机台主体的洁净室，其在整体工程的重要性不言而喻，做好洁净无尘室的施工管理，就等于为未来生产的顺利成功打下了坚实的基础。洁净无尘室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度，是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰，而完成这些功能的系统设备就是构成洁净无尘室的主体：内装（吊顶、墙板）、DCC、 MAU、FFU。

LED/液晶/线路板净化工程净化参数：

1.压差：主车间对相邻房间≥5Pa；

2.平均风速： 100级0.3－0.5m/s；噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX。

结构材料：

1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙  角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。