半导体净化工程-洁净车间技术解决方案

半导体组件空间单位都是以微米计算，因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成短路或断路的严重后果。所有半导体制程设备都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中，这就是半导体无尘车间的来由。半导体洁净无尘车间有专业的建造厂家，如上海康特环保发展科技有限公司。以下半导体洁净无尘车间的相关的技术和使用。管理办法 1.半导体洁净无尘车间内部要确保粉尘只出不进，因此洁净无尘车间室内要保持大于大气压的环境。这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源不绝地打入洁净车间中。 2.为保持恒温与恒湿，大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久，空调就得开多久。 3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主，因此，洁净无尘车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀，使尘埃细菌等在洁净无尘车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。 4.所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。 5.所有人或事物进出洁净无尘车间，人必须穿配套防尘服，人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。 6.半导体洁净无尘车间内水的使用只限用去离子水。一则防止水中粉粒污染晶圆，二则防止水中重金属离子（如钾、...

LED净化工程-洁净车间技术解决方案

一、LED洁净车间净化原理 气流⇒初效空气净化⇒空调⇒中效空气净化⇒风机送风⇒管道⇒高效空气净化⇒洁净间⇒吹走尘埃细菌等⇒回风百叶窗⇒新风、初效空气过滤器重复以上过程，即可达成净化目的。 二、LED洁净车间主要技术参数 换气次数：十万级10-15次/小时； 万级15-25次/小时； 千级 50-52次/小时； 压差：主车间对相邻洁净房间>=5Pa；洁净房间对非洁净区>=10Pa； 温度：冬季>16℃±2℃；夏季<26℃±2℃； 相对湿度：45-65%（RH）； 噪声<=65dB（A）； 新风补充量：总送风量的20%-30%； 照度：>=300Lux。三、LED洁净车间主要耗材 洁净车间的门一般采用净化密闭门，窗一般采用铝合金玻璃固定窗，墙和顶板一般采用彩钢板和净化专用的氧化铝型材制造。洁净车间净化通风用管道一般采用镀锌薄钢板制作，并用PEF阻燃型保温板保温。洁净车间内地面一般采用防静电净化地板。

光伏新能源净化工程-洁净无尘车间技术解决方案

一、光伏新能源硅晶片介绍 光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样光亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。目前微电子产业飞速发展，集成电路技术已迈入0.18微米以下的时代，极大地刺激了光伏新能源硅晶片的发展，同时对光伏新能源硅晶片的性能参数的要求也有较大的提高，因此光伏新能源硅晶片的发展前景十分乐观。 二、光伏新能源硅晶片的生产工艺流程 从大的方面来讲，光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分，单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角（圆边）-研磨/研磨片检查-蚀刻（化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺）-PTA热处理-背面损伤处理-抛光（ML粗抛、ML精抛）-洗净-品质检查-洁净包装从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序，切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。 各生产工序环境控制要求 某硅片厂生产4~6英寸光伏新能源硅晶片，产量为480万片/年。此公司光伏新能源硅晶片应用于分立器件、功率元件和特种集成电路的制作。 空调净化系统 空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点，下面来介绍光伏新能源硅晶片生产工序的...

光学微电子净化工程-无尘车间技术解决方案

光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。 光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目，而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。 学微电子净化工程一般包括： 1、 洁净生产区 2、 洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）风淋室 3、 管理区（包括办公、值班、管理和休息等）4、 设备区（包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房） 一、光学微电子净化工程净化原理 气流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→高效空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效空气过滤器净化 重复以上过程，...