洁净车间系统解决方案

Clean room system（CRS™）

一、洁净车间系统介绍 1.洁净室简介 亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。 2.洁净室控管项目 （1）能除去空气中飘游之微尘粒子。 （2）能防止微尘粒子之产生。 （3）温度和湿度之控制。 （4）压力之调节。 （5）有害气体之排除。 （6）结构物与隔间之气密性。 （7）静电之防制。 （8）电磁干扰预防。 （9）安全因素之考虑。 （10）节能之考量。 3.洁净室构成 洁净室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的洁净...